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平臺概況
平臺概況
深圳超滑技術(shù)平臺
深圳清華大學研究院超滑技術(shù)研究所超滑技術(shù)實驗平臺，簡稱深圳超滑技術(shù)平臺（SSTP），由深圳市政府和坪山區(qū)政府支持建設，深圳清華大學研究院超滑技術(shù)研究所負責搭建運營，于2021年在深圳坪山落成，是集自超滑技術(shù)創(chuàng)意和研究公共實驗開發(fā)、創(chuàng)新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化支撐、公共微納加工技術(shù)服務和科技創(chuàng)新教育重要技術(shù)支持為一體的顛覆性技術(shù)應用研發(fā)平臺。
平臺擁有世界一流的自超滑研發(fā)/微納加工設備，主要工藝能力包括：光刻、鍍膜、刻蝕、鍵合，拋光，表征測試，封裝，器件測試等。在微納加工領(lǐng)域為企業(yè)、科研院所及高校提供工藝整合、共同工藝開發(fā)等技術(shù)服務。
平臺總建設面積近2600余平方米，其中潔凈實驗室面積達1000平方米（百級潔凈區(qū)130平方米，千級潔凈區(qū)870平方米）創(chuàng)新實驗區(qū)500平方米，分布式和Ballroom相結(jié)合的潔凈室布局滿足從研發(fā)到量產(chǎn)的需求。
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