超滑技術(shù)實驗平臺：微納制造平臺工藝技術(shù)與業(yè)務(wù)發(fā)展探索
來源：清力技術(shù) 2024-09-30
隨著科技進步和需求發(fā)展，產(chǎn)品智能化、器件集成化、元件微型化、工藝微納化趨勢加速。近年來，國內(nèi)新建了一批微納加工平臺，正在助力微納領(lǐng)域的新技術(shù)成為新產(chǎn)品，從實驗室走向產(chǎn)線。
9月12日，由深圳市微納制造產(chǎn)業(yè)促進會主辦的第五屆中德(歐)合作創(chuàng)新-微納光學制造論壇在深圳國際會展中心成功舉辦。促進會副會長單位——深圳清力技術(shù)有限公司超滑技術(shù)實驗平臺負責人潘旭捷發(fā)表題為《微納制造平臺工藝技術(shù)與業(yè)務(wù)發(fā)展》的精彩演講，展示了微納技術(shù)、超滑技術(shù)的應(yīng)用前景以及微納制造平臺運營情況。
9月12日，由深圳市微納制造產(chǎn)業(yè)促進會主辦的第五屆中德(歐)合作創(chuàng)新-微納光學制造論壇在深圳國際會展中心成功舉辦。促進會副會長單位——深圳清力技術(shù)有限公司超滑技術(shù)實驗平臺負責人潘旭捷發(fā)表題為《微納制造平臺工藝技術(shù)與業(yè)務(wù)發(fā)展》的精彩演講，展示了微納技術(shù)、超滑技術(shù)的應(yīng)用前景以及微納制造平臺運營情況。
微納技術(shù)的現(xiàn)狀與未來展望
潘旭捷首先回顧了納米技術(shù)的發(fā)展歷程，指出盡管半導(dǎo)體技術(shù)已取得顯著進展，但費曼先生預(yù)言的微納機器等愿景尚未實現(xiàn)。他強調(diào)，微納技術(shù)已經(jīng)在多個領(lǐng)域催生了17項諾貝爾物理學和化學獎，并在我國科研界占據(jù)重要地位。展望未來，他提到第四次工業(yè)革命將以AI為核心，而AI的發(fā)展需要大量傳感器、執(zhí)行器以及對能源的高效利用。微納技術(shù)將在這些領(lǐng)域發(fā)揮關(guān)鍵作用，推動物理世界與數(shù)字世界的深度融合。
超滑微系統(tǒng)的創(chuàng)新與應(yīng)用
在介紹超滑微系統(tǒng)概念時，潘旭捷指出，目前80%的機械組件失效與摩擦磨損有關(guān)，而在微小尺度下，減少或降低摩擦磨損的傳統(tǒng)方法則完全失效，摩擦磨損問題成了研發(fā)微小器件的攔路虎，而自超滑（原“結(jié)構(gòu)超滑”）則是解決這一問題的顛覆性方案。他詳細介紹了自超滑技術(shù)的原理，即在二維材料層間的弱范德華作用和非公度接觸的條件下，實現(xiàn)兩固體表面接觸滑動時，磨損為零、摩擦系數(shù)近零的狀態(tài)。這一技術(shù)不僅具有堅實的理論基礎(chǔ)，還在材料制備、量產(chǎn)技術(shù)及工藝優(yōu)化等方面取得了突破。目前，該技術(shù)已成功應(yīng)用于MEMS開關(guān)、高效無磨損摩擦發(fā)電機等產(chǎn)品，并已與國內(nèi)多家頭部企業(yè)建立技術(shù)合作，展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景。
微納加工平臺的建設(shè)與運營
潘旭捷還介紹了深圳超滑技術(shù)研究所微納加工平臺的建設(shè)情況。該平臺擁有2600平米的實驗室，包括1000平米的潔凈間，配備了200余項微納加工設(shè)備，具備6至8英寸MEMS芯片的流片能力。平臺采用FAB廠模式進行生產(chǎn)管理，擁有專業(yè)的加工團隊和完善的管理制度。在標準工藝基礎(chǔ)上，平臺還開發(fā)了多種特色工藝，支持光學、MEMS器件及生物芯片等領(lǐng)域的客戶需求。平臺致力于成為概念驗證和小批量生產(chǎn)的快速通道，助力科研機構(gòu)和企業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新與成果轉(zhuǎn)化。
微納制造產(chǎn)業(yè)的未來機遇
最后，潘旭捷展望了微納制造產(chǎn)業(yè)的未來發(fā)展趨勢。他認為，微納制造將借鑒晶體管發(fā)明后的產(chǎn)業(yè)發(fā)展模式，通過開放合作和產(chǎn)業(yè)化探索，催生新的產(chǎn)業(yè)機遇。他強調(diào)，深圳作為創(chuàng)新之城，為顛覆性技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化提供了肥沃土壤。深圳超滑技術(shù)實驗平臺將繼續(xù)致力于超滑技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用，推動微納制造產(chǎn)業(yè)邁向更高水平，為第四次工業(yè)革命貢獻力量。
