我司潘旭捷接受儀器信息網采訪——我國結構超滑技術處于國際領先水平，相關微納加工設備自主可控
來源：清力技術 2023-08-25
8月29日，全國半導體設備和材料標準化技術委員會微光刻分技術委員會第四屆微光刻分委會年會暨第十三屆微光刻技術交流會在青島成功召開。
會議期間，儀器信息網特別采訪了深圳清力技術有限公司實驗平臺負責人、深圳超滑技術實驗平臺主任潘旭捷。深圳超滑技術實驗平臺是由深圳市政府、深圳坪山區政府以及深圳清華大學研究院共同支持成立，總投資1.5億，擁有200余臺半導體制備和表征設備。實驗平臺一方面支撐結構超滑技術的研究，另一方面也對外開放，目前已經具備了6英寸MEMS芯片流片能力，同時也支持 MEMS器件、先進封裝、微納米光學、光電子、生物芯片等一系列些微納米器件的工藝開發和打樣，目前平臺合作伙伴有100余家，合作項目200余項。
深圳超滑技術實驗平臺研究領域是結構超滑技術，研究覆蓋基礎物理機理、材料研究、相關微納米級加工和表征技術，以及相關的應用及產業化。潘旭捷表示，當前結構超滑研究的關鍵技術主要在于材料制備和器件制備，需要協同光刻、刻蝕等一系列微加工技術來共同完成。結構超滑技術是我國原創的一項根技術，借助結構超滑技術有望助力各個材料或者設備廠商突破國外卡脖子問題。目前國內在結構超滑領域取得了不少新的突破，包括大面積的材料制備，結構超滑器件的制備等，均處于國際領先的階段。深圳清力技術有限公司團隊在結構超滑材料及器件制備的特色設備上做到自主研發，同時大部分通用微加工設備也屬于國內完全可控。對于科技前沿研發需要用到的部分設備例如電子束光刻系統等，仍處于國外卡脖子的狀態，亟待國內廠商攻關突破。
來源：儀器信息網
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