通信技術
自超滑MEMS射頻開關
功能
對電路中的射頻信號進行通斷、路由、相位改變，是射頻系統基礎核心器件。
原理
利用結構超滑副作為電流傳輸界面，可以將MEMS開關傳輸功率和壽命提高1-2個量級。
應用場景
5G/5.5G/6G基站、移動終端、相控陣雷達、高端醫療設備、半導體自動化（ATE）檢測等領域。
5G/5.5G/6G基站
半導體自動化測試-探針卡
相控陣雷達
核磁共振
性能參數
| 指標 | 半導體開關 | 自超滑射頻開關 |
|---|---|---|
| 帶寬范圍 | Khz~3.5 GHz | DC~40 GHz |
| 插入損耗 | 0.15-0.2 dB@4 GHz >0.5 dB@5 GHz |
≤0.15 dB@5 GHz |
| 隔離度 | <25 dB@4 GHz <4 dB@5 GHz |
25~50 dB@8 GHz |
| 線性度 | <90 dBm | ip3：>110 dbm |
| 最大輸出功率 | <2 W | 20 W-200 W |
| 開關響應時間 | ns級 | 500 ns-5 μs |
| 控制電壓 | <5 V | 10-1000 V |
| 封裝尺寸 | <1 mm*2 mm | <3mm*2mm |